Установка LPCVD осаждения графена и CNT

ціну уточнюйте

роздріб та опт

в наявності

☎ показати телефон

Додати у кошик

LPCVD -установка для создания (осаждения) графена и углеродныx -нанотрубок -(CNT) - произвдства - Angstrom Engineering Inc. (Канада) -- компактное экономичное решение подходящее для множества применений -вакуумного напыления для НИИОКР. - LPCVD -установка от -Angstrom Engineering Inc. -выводит заказчиков -на новый уровень в исследовании графена и углеродных нанотрубок -(CNT). Установка -LPCVD -от -Angstrom -спроектирована для удовлетворения требований высокой скорости нагрева и охлаждения в процессе и высокой температуре процесса при исследовании в технологии создания графена и углеродных нанотрубок. - - - - Для обеспечения подобных требований инженеры -Angstrom -разработали водоохлаждаемую печь, которая может достигать температуры 1100 оС и затем быстро охлаждаться. Достижение температуры 1100 оС за 10 минут значительно уменьшает требуемое время процесса. Охлаждение ниже 800 оС производится за 2 минуты обеспечивая контролируемый рост графена. Возможны различные размеры процессных труб для установки пластин от 2 дюймов до 8 дюймов. Установка позволяет работать (конфигурируется) как с единичной загрузкой пластин или кусочков образцов так и с партией пластин диаметром 6 дюймов, например. - Графен является -2D -углеродным кристаллом. Однослойная структура графена показывает большой потенциал в использовании этого материала для создания изделий тонкопленочной электроники и технологии создания приборов на гибких подложках. Одной из важных свойств графена является прозрачность, гибкость и очень хорошая электрическая проводимость делающая этот материал хорошим кандидатом для использования в качестве -TCO -слоя во многих устройствах. - Для удовлетворения потребностей быстро растущего рынка углеродных нанотрубок, графена и других -2D -кристаллов -Angstrom -предлагает систему обеспечивающую высокопрецизионный контроль

LPCVD -установка для создания (осаждения) графена и углеродныx -нанотрубок -(CNT) -произвдства -Angstrom Engineering Inc. (Канада) -- компактное экономичное решение подходящее для множества применений -вакуумного напыления для НИИОКР. -

LPCVD -установка от -Angstrom Engineering Inc. -выводит заказчиков -на новый уровень в исследовании графена и углеродных нанотрубок -(CNT).

Установка -LPCVD -от -Angstrom -спроектирована для удовлетворения требований высокой скорости нагрева и охлаждения в процессе и высокой температуре процесса при исследовании в технологии создания графена и углеродных нанотрубок. - - - -

Для обеспечения подобных требований инженеры -Angstrom -разработали водоохлаждаемую печь, которая может достигать температуры 1100 оС и затем быстро охлаждаться. Достижение температуры 1100 оС за 10 минут значительно уменьшает требуемое время процесса. Охлаждение ниже 800 оС производится за 2 минуты обеспечивая контролируемый рост графена. Возможны различные размеры процессных труб для установки пластин от 2 дюймов до 8 дюймов. Установка позволяет работать (конфигурируется) как с единичной загрузкой пластин или кусочков образцов так и с партией пластин диаметром 6 дюймов, например. -

Графен является -2D -углеродным кристаллом. Однослойная структура графена показывает большой потенциал в использовании этого материала для создания изделий тонкопленочной электроники и технологии создания приборов на гибких подложках. Одной из важных свойств графена является прозрачность, гибкость и очень хорошая электрическая проводимость делающая этот материал хорошим кандидатом для использования в качестве -TCO -слоя во многих устройствах. -

Для удовлетворения потребностей быстро растущего рынка углеродных нанотрубок, графена и других -2D -кристаллов -Angstrom -предлагает систему обеспечивающую высокопрецизионный контроль и гибкость в - в течение процесса. Система блокировок защищает пользователя от воздействия высоких температур, процессных газов и высокого напряжения, которые присутствует в установке. При отключении -PC -или -PLCсенсор переведет установку в безопасное состояние. -

Полностью автоматический контроль процесса в системе позволяет пользователям создавать, сохранять сложные рецепты (до 50 шаогв) использую 24-х дюймовый -touch screen -интерфейс. Данные сохраняются для каждого процесса (data -log) -и могут быть загружены через -USB -интерфейс для анализа.

Процессы:
Рост углеродных нанотрубое (CNT)
Рост графена

Особенности

Возможность обрабатывать на пластины диаметром от 50 до 200 мм или единичные подложики до 150х150 мм
Однородность и контроль температуры процесса в диапазоне от комнатной (КТ) до 1100 оС. -
Очень быстрые циклы нагрева и охлаждения (Нагрев до 1100 oC за 10 минут., охлажение с 1100 оС до 800 oC за 2 минуты)
Стабильный контроль давления от 100 мТор до 500 Тор
До 12 газовых линий с контроллерами массового расхода -(MFC)
олностью безопасная конструкция и дизайн с полностью закрытым кабинетом

Запросить брошюру в PDF

id позиции 5405989

LPCVD -установка для создания (осаждения) графена и углеродныx -нанотрубок -(CNT) -произвдства -Angstrom Engineering Inc. (Канада) -- компактное экономичное решение подходящее для множества применений -вакуумного напыления для НИИОКР. -

LPCVD -установка от -Angstrom Engineering Inc. -выводит заказчиков -на новый уровень в исследовании графена и углеродных нанотрубок -(CNT).

Установка -LPCVD -от -Angstrom -спроектирована для удовлетворения требований высокой скорости нагрева и охлаждения в процессе и высокой температуре процесса при исследовании в технологии создания графена и углеродных нанотрубок. - - - -

Для обеспечения подобных требований инженеры -Angstrom -разработали водоохлаждаемую печь, которая может достигать температуры 1100 оС и затем быстро охлаждаться. Достижение температуры 1100 оС за 10 минут значительно уменьшает требуемое время процесса. Охлаждение ниже 800 оС производится за 2 минуты обеспечивая контролируемый рост графена. Возможны различные размеры процессных труб для установки пластин от 2 дюймов до 8 дюймов. Установка позволяет работать (конфигурируется) как с единичной загрузкой пластин или кусочков образцов так и с партией пластин диаметром 6 дюймов, например. -

Графен является -2D -углеродным кристаллом. Однослойная структура графена показывает большой потенциал в использовании этого материала для создания изделий тонкопленочной электроники и технологии создания приборов на гибких подложках. Одной из важных свойств графена является прозрачность, гибкость и очень хорошая электрическая проводимость делающая этот материал хорошим кандидатом для использования в качестве -TCO -слоя во многих устройствах. -

Для удовлетворения потребностей быстро растущего рынка углеродных нанотрубок, графена и других -2D -кристаллов -Angstrom -предлагает систему обеспечивающую высокопрецизионный контроль и гибкость в - в течение процесса. Система блокировок защищает пользователя от воздействия высоких температур, процессных газов и высокого напряжения, которые присутствует в установке. При отключении -PC -или -PLCсенсор переведет установку в безопасное состояние. -

Полностью автоматический контроль процесса в системе позволяет пользователям создавать, сохранять сложные рецепты (до 50 шаогв) использую 24-х дюймовый -touch screen -интерфейс. Данные сохраняются для каждого процесса (data -log) -и могут быть загружены через -USB -интерфейс для анализа.

Процессы:
Рост углеродных нанотрубое (CNT)
Рост графена

Особенности

Возможность обрабатывать на пластины диаметром от 50 до 200 мм или единичные подложики до 150х150 мм
Однородность и контроль температуры процесса в диапазоне от комнатной (КТ) до 1100 оС. -
Очень быстрые циклы нагрева и охлаждения (Нагрев до 1100 oC за 10 минут., охлажение с 1100 оС до 800 oC за 2 минуты)
Стабильный контроль давления от 100 мТор до 500 Тор
До 12 газовых линий с контроллерами массового расхода -(MFC)
олностью безопасная конструкция и дизайн с полностью закрытым кабинетом

Запросить брошюру в PDF

id позиции

5405989