Автоматический спектроскопический эллипсометр Senduro

Высокая стабильность и точность при измерения

Высокая скорость измерения образцов

Измерение толщин пленок от 1 нм. до 10 000 нм. (ультра-тонкие пленки)

Измерение оптических характеристик пленок

Полностью авто­матическое выравнивание образца при измерении

Измерения на прозрачных и поглощающих подложках

Управление нажатием кнопки

Удобное программное обеспечение SpectraRay/4

Минимальная подготовка для инсталляции прибора

Не требует высокой квалификации оператора

Полный пакет предустановленных применений в микроэлектро­нике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.

Мощный пакет программного обеспечения SpectraRay/4 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение Ψ (psi), Δ (delta) , tan(Ψ), cos(Δ), коэффициентов Фурье (S1, S2), коэффициенты отражения (R, Rp, Rs), коэффициенты отражения (T), оптические сфойства (n, k, ne, no, ke, ko), свойство материалов, интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения. SpectraRay/4обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к исполь­зованию диэлектрических функций.

- ч/б видеокамера и микроскоп для инспекции образца

- Мото­ризованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 150 мм, до 200 мм и до 300 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования). Опция меппинга (мото­ризованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.

- Рефлектометр FTPad

Высокая стабильность и точность при измерения

Высокая скорость измерения образцов

Измерение толщин пленок от 1 нм. до 10 000 нм. (ультра-тонкие пленки)

Измерение оптических характеристик пленок

Полностью авто­матическое выравнивание образца при измерении

Измерения на прозрачных и поглощающих подложках

Управление нажатием кнопки

Удобное программное обеспечение SpectraRay/4

Минимальная подготовка для инсталляции прибора

Не требует высокой квалификации оператора

Полный пакет предустановленных применений в микроэлектро­нике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.

Мощный пакет программного обеспечения SpectraRay/4 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение Ψ (psi), Δ (delta) , tan(Ψ), cos(Δ), коэффициентов Фурье (S1, S2), коэффициенты отражения (R, Rp, Rs), коэффициенты отражения (T), оптические сфойства (n, k, ne, no, ke, ko), свойство материалов, интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения. SpectraRay/4обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к исполь­зованию диэлектрических функций.

- ч/б видеокамера и микроскоп для инспекции образца

- Мото­ризованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 150 мм, до 200 мм и до 300 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования). Опция меппинга (мото­ризованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.

- Рефлектометр FTPad