Зондовая станция - MPI TS150 -производства - MPI (Тайвань) -предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных -(DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power). Станция имеет -широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, -оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой -мощности. - Станции TS150 компании MPI просты в использовании. Предназначены для прецизионного анализа подложек и полупроводниковых пластин размером до 150 мм. Данные станции подходят для решения самых различных задач, включая анализ отказов, проверку параметров структур на этапе проектирования интегральных схем, микроэлектромеханических систем (MEMS), а так же определение характеристик и моделирование устройств высокой мощности. Особенности Эргономичный дизайн позволяет быстро позиционировать образец при помощи ручного пантографа. Тестирование на образцах (пластинах) до 150 мм Устойчивая плита, допускающая установку до 10 DC или 4 RF-позиционеров Воспроизводимый дизайн подъемника плиты с 3 отдельными режимами: для загрузки образца, контакта с образцом и промежуточный Антивибрационная платформа в комплекте Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria Возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жесткого моста для микроскопа Платформа с пневматическим подшипником - Уникальная конструкция платформы с пневматическим подшипником компании MPI обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta) с шагом 25 x 25 мм. - Уникальный механизм подъема платформы - Точность измерений зависит, прежд
Зондовая станция -MPI TS150 -производства -MPI (Тайвань) -предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных -(DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power). Станция имеет -широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, -оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой -мощности. -
Станции TS150 компании MPI просты в использовании. Предназначены для прецизионного анализа подложек и полупроводниковых пластин размером до 150 мм. Данные станции подходят для решения самых различных задач, включая анализ отказов, проверку параметров структур на этапе проектирования интегральных схем, микроэлектромеханических систем (MEMS), а так же определение характеристик и моделирование устройств высокой мощности.
Особенности
- Эргономичный дизайн позволяет быстро позиционировать образец при помощи ручного пантографа.
- Тестирование на образцах (пластинах) до 150 мм
- Устойчивая плита, допускающая установку до 10 DC или 4 RF-позиционеров
- Воспроизводимый дизайн подъемника плиты с 3 отдельными режимами: для загрузки образца, контакта с образцом и промежуточный
- Антивибрационная платформа в комплекте
- Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria
- Возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жесткого моста для микроскопа
Платформа с пневматическим подшипником -
Уникальная конструкция платформы с пневматическим подшипником компании MPI обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta) с шагом 25 x 25 мм. -
- Уникальный механизм подъема платформы -
Точность измерений зависит, прежде всего, от качества контакта! Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1µ-m) имеет три раздельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 µ-m) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или пластины, обеспечивая интуитивное управление и точное размещение контакта. Особенно эта функция важна для высокочастотных измерений и измерений с высокой мощностью. Регулировочная шкала по высоте -
Точная регулировка зондовой платформы по высоте составляет 25 мм и требуется для поддержки различных измерений. Уникальная шкала с точностью 1 мм обеспечивает наглядность текущего положение платформы.
Различные держатели пластин -
Предлагаются ручные станции с различными техническими решениями держателей пластин. Компания MPI предлагает коаксиальные, триаксиальные и различные термические держатели пластин для выполнения температурных измерений в диапазоне до 300°-C.
Дополнительные держатели -(для калибровочных пластин) -
В комплекте с высокочастотными держателями пластин входят два дополнительных держателя, встроенные в керамический материал для размещения калибровочных пластин.
Выбор различных микроскопов и типов перемещений микроскопов -
Предлагается большой ассортимент микроскопов и типов перемещений. Стереоскопический микроскоп для выполнения измерений на постоянном токе и вольт-фарадных характеристик. Монокулярные микроскопы MPI SZ10 или MZ12 для ВЧ конфигураций. Имеются в наличии высокомощные оптические устройства, например, Mitutoyo FS70 или Motic PSM-1000, для приложений, выполняющих анализ отказов.
Откидывание микроскопа -
Откидывание микроскопа на 90 градусов, стандартная опция для ручных зондовых станций так же, как и перемещение микроскопа при помощи пневматического подшипника и линейный подъем микроскопа по оси Z. Эти опции позволяют легко устанавливать и менять ВЧ головки.
Антивибрационная платформа -
В состав всех ручных систем входит антивибрационное основание для достижения стабильного и устойчивого длительного контакта между зондом и подложкой, обеспечивая, таким образом, надежные результаты измерений. Антивибрационная платформа или антивибрационный стол являются дополнительными приспособлениями для лабораторий, где требуется всесторонняя защита от вибраций и заказываются отдельно.
Светоизоляционный корпус -
Предлагаемый светоизоляционный корпус обеспечивает защиту от электромагнитных излучений и светонепроницаемые условия проведения испытаний для сверхмалошумных измерений на постоянном токе. -
Количество зондов (микропозиционеров) на платфоме до 10 DC зондов и до 4 RF зондов
Размер подставки (занимаемая площадь) - 470 х 505 мм
Стандартный предметный столик (другие по запросу) Максимальный размер пластины (кристалла) до 150 мм
Перемещение предметного столика по XY 185 x 235 мм
Разрешение перемещения 5 мкм
Плоскостност столика
Зондовая станция -MPI TS150 -производства -MPI (Тайвань) -предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных -(DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power). Станция имеет -широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, -оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой -мощности. -
Станции TS150 компании MPI просты в использовании. Предназначены для прецизионного анализа подложек и полупроводниковых пластин размером до 150 мм. Данные станции подходят для решения самых различных задач, включая анализ отказов, проверку параметров структур на этапе проектирования интегральных схем, микроэлектромеханических систем (MEMS), а так же определение характеристик и моделирование устройств высокой мощности.
Особенности
- Эргономичный дизайн позволяет быстро позиционировать образец при помощи ручного пантографа.
- Тестирование на образцах (пластинах) до 150 мм
- Устойчивая плита, допускающая установку до 10 DC или 4 RF-позиционеров
- Воспроизводимый дизайн подъемника плиты с 3 отдельными режимами: для загрузки образца, контакта с образцом и промежуточный
- Антивибрационная платформа в комплекте
- Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria
- Возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жесткого моста для микроскопа
Платформа с пневматическим подшипником -
Уникальная конструкция платформы с пневматическим подшипником компании MPI обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta) с шагом 25 x 25 мм. -
- Уникальный механизм подъема платформы -
Точность измерений зависит, прежде всего, от качества контакта! Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1µ-m) имеет три раздельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 µ-m) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или пластины, обеспечивая интуитивное управление и точное размещение контакта. Особенно эта функция важна для высокочастотных измерений и измерений с высокой мощностью. Регулировочная шкала по высоте -
Точная регулировка зондовой платформы по высоте составляет 25 мм и требуется для поддержки различных измерений. Уникальная шкала с точностью 1 мм обеспечивает наглядность текущего положение платформы.
Различные держатели пластин -
Предлагаются ручные станции с различными техническими решениями держателей пластин. Компания MPI предлагает коаксиальные, триаксиальные и различные термические держатели пластин для выполнения температурных измерений в диапазоне до 300°-C.
Дополнительные держатели -(для калибровочных пластин) -
В комплекте с высокочастотными держателями пластин входят два дополнительных держателя, встроенные в керамический материал для размещения калибровочных пластин.
Выбор различных микроскопов и типов перемещений микроскопов -
Предлагается большой ассортимент микроскопов и типов перемещений. Стереоскопический микроскоп для выполнения измерений на постоянном токе и вольт-фарадных характеристик. Монокулярные микроскопы MPI SZ10 или MZ12 для ВЧ конфигураций. Имеются в наличии высокомощные оптические устройства, например, Mitutoyo FS70 или Motic PSM-1000, для приложений, выполняющих анализ отказов.
Откидывание микроскопа -
Откидывание микроскопа на 90 градусов, стандартная опция для ручных зондовых станций так же, как и перемещение микроскопа при помощи пневматического подшипника и линейный подъем микроскопа по оси Z. Эти опции позволяют легко устанавливать и менять ВЧ головки.
Антивибрационная платформа -
В состав всех ручных систем входит антивибрационное основание для достижения стабильного и устойчивого длительного контакта между зондом и подложкой, обеспечивая, таким образом, надежные результаты измерений. Антивибрационная платформа или антивибрационный стол являются дополнительными приспособлениями для лабораторий, где требуется всесторонняя защита от вибраций и заказываются отдельно.
Светоизоляционный корпус -
Предлагаемый светоизоляционный корпус обеспечивает защиту от электромагнитных излучений и светонепроницаемые условия проведения испытаний для сверхмалошумных измерений на постоянном токе. -
| Количество зондов (микропозиционеров) на платфоме | до 10 DC зондов и до 4 RF зондов |
| Размер подставки (занимаемая площадь) - | 470 х 505 мм |
| Стандартный предметный столик (другие по запросу) |
| Максимальный размер пластины (кристалла) | до 150 мм |
| Перемещение предметного столика по XY | 185 x 235 мм |
| Разрешение перемещения | 5 мкм |
| Плоскостност столика | <- 10 мкм |
| Угол вращения столика (грубый / точный) - | 360o -/ +/- 5o |
| Угловая точночть | 7.5 x 10-3 градиент |
| Перемещение образца | Пантограф на воздушных подшипниках(шайбовый контроль) |
| Электропитание | 200-240 V AC 50/60 Hz только для оптических комплектующих |
| Вакуум - | 0,5 Бар |
| Производитель | MPI |
| Единица измерения | штук |
| id позиции | 5406052 |
