Вакуумная установка - EvoVac - произвдства - Angstrom Engineering Inc. (Канада) --одна из -самых больших из серии установок -Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом. С расширением популярности линейки установок -Å-mod система - EvoVac - самая большая по размерам установка позволяющая иметь большую гибкость по сравнению с другими. Улучшения в части большей двери и увеличения размера камеры позволяет устанавливать большие по размеру источники. Установка для исследований требующих установки большего количества различных источников -в одной камере. Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере. - - - Вакуумный загрузочный шлюз Процессы: резистивное термическое испарение -(resistive thermal evaporation) - магнетронное напыление -(magnetron sputtering deposition) электронно-лучевое испарение -(electron beam evaporation) ионное напыление -(ion-assisted deposition) Особенности Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 300 мм (или до 3 х 100 мм, 150 х 150 мм) с заданием различной скорости вращения держателя Продвинутая система управления на базе ПК. Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция). Длинная дистанция между источниками и подложкой. Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция). Наполнение различными источниками -PVD -процессов согласно требованиям заказчика. Поддержка нескольких разных -PVD -процессов в одной камере. 1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой. 700мм x 700мм x 500мм (ШхВхГ) камера с выдвижной дверью на петлях (возможна -D-образная камера) Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов. Процесс последовательного или параллельного -(co-deposition) -напыления. Диаметр обрабатыва
Вакуумная установка -EvoVac -произвдства -Angstrom Engineering Inc. (Канада) --одна из -самых больших из серии установок -Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом.
С расширением популярности линейки установок -Å-mod система -EvoVac -самая большая по размерам установка позволяющая иметь большую гибкость по сравнению с другими. Улучшения в части большей двери и увеличения размера камеры позволяет устанавливать большие по размеру источники. Установка для исследований требующих установки большего количества различных источников -в одной камере.
Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере. - - -
Вакуумный загрузочный шлюз
Процессы:
резистивное термическое испарение -(resistive thermal evaporation) -
магнетронное напыление -(magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение -(electron beam evaporation)
ионное напыление -(ion-assisted deposition)
Особенности
- Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 300 мм (или до 3 х 100 мм, 150 х 150 мм) с заданием различной скорости вращения держателя
Продвинутая система управления на базе ПК.
- Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).
Длинная дистанция между источниками и подложкой.
- Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).
Наполнение различными источниками -PVD -процессов согласно требованиям заказчика.
- Поддержка нескольких разных -PVD -процессов в одной камере.
1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой.
- 700мм x 700мм x 500мм (ШхВхГ) камера с выдвижной дверью на петлях (возможна -D-образная камера)
Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.
- Процесс последовательного или параллельного -(co-deposition) -напыления.
Диаметр обрабатываемых подложек до 300мм. (пластины большего диаметра по запросу).
- Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)
Контроль вакуума и вакуумная система:
- Автоматический форвакуумный насос
- Сухие насосы (опция)
- Высокий вакуум обеспечивается крио насосом или турбомолекулярным насосом -
- Пневматически воздушный фильтр
Управление процессом осаждения:
- теневая маска и выравнивание подложки
- легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса
- датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом
- конфигурация для реализации процесса соосаждения- -co-deposition -(параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)
- QCM -- изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников или оптический контроль
- -Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.
- Нагрев или охлаждение подложки (по запросу), охлаждение или доп. смещение на подложку
- Планетарное вращение (опция), напыление под различными углами (GLAD держатель - опция)
Запросить брошюру в PDF
id позиции 5405990
Вакуумная установка -EvoVac -произвдства -Angstrom Engineering Inc. (Канада) --одна из -самых больших из серии установок -Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом.
С расширением популярности линейки установок -Å-mod система -EvoVac -самая большая по размерам установка позволяющая иметь большую гибкость по сравнению с другими. Улучшения в части большей двери и увеличения размера камеры позволяет устанавливать большие по размеру источники. Установка для исследований требующих установки большего количества различных источников -в одной камере.
Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере. - - -
Вакуумный загрузочный шлюз
Процессы:
резистивное термическое испарение -(resistive thermal evaporation) -
магнетронное напыление -(magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение -(electron beam evaporation)
ионное напыление -(ion-assisted deposition)
Особенности
- Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 300 мм (или до 3 х 100 мм, 150 х 150 мм) с заданием различной скорости вращения держателя
Продвинутая система управления на базе ПК.
- Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).
Длинная дистанция между источниками и подложкой.
- Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).
Наполнение различными источниками -PVD -процессов согласно требованиям заказчика.
- Поддержка нескольких разных -PVD -процессов в одной камере.
1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой.
- 700мм x 700мм x 500мм (ШхВхГ) камера с выдвижной дверью на петлях (возможна -D-образная камера)
Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.
- Процесс последовательного или параллельного -(co-deposition) -напыления.
Диаметр обрабатываемых подложек до 300мм. (пластины большего диаметра по запросу).
- Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)
Контроль вакуума и вакуумная система:
- Автоматический форвакуумный насос
- Сухие насосы (опция)
- Высокий вакуум обеспечивается крио насосом или турбомолекулярным насосом -
- Пневматически воздушный фильтр
Управление процессом осаждения:
- теневая маска и выравнивание подложки
- легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса
- датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом
- конфигурация для реализации процесса соосаждения- -co-deposition -(параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)
- QCM -- изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников или оптический контроль
- -Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.
- Нагрев или охлаждение подложки (по запросу), охлаждение или доп. смещение на подложку
- Планетарное вращение (опция), напыление под различными углами (GLAD держатель - опция)
Запросить брошюру в PDF
