Универсальные горизонтальные диффузионные печи для LPCVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от - SVCS -(Чехия) . - Конструкция печей компании SVCS для процессов осаждения при пониженном давлении LPCVD сочетает в себе различные варианты построения оборудования. В зависимости от нужд заказчика, это могут быть как системы максимальной производительности (SVсFUR-FP), так и системы, обеспечивающие высокую гибкость технологических процессов при малых объемах производства, для использования в научных исследованиях и опытно-промышленном производстве (SVсFUR-RD). Серия SVсFUR представляет собой простые в обслуживании, безопасные и надежные технологические платформы. Процессы: - - Нитрид кремния - Низкотемпературный оксид (LTO) - Высокотемпературный оксид (HTO) - ТЭОС - Поликремний - Легированный поликремний - Оксинитрид Особенности Термическая обработка пластин диаметром до 300 мм Современная модульная система управления собственной разработки и производства Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого оборудования До 4 горизонтальных кварцевых реакторов для различных процессов Различные способы управления уровнем вакуума (с нагревом или без нагрева) - Поворотный дисковый затвор&ndash- TBV - Применение балластного азота - Частотное управление вакуумным насосом Интеграция вакуумных насосов в сотрудничестве с ведущими производителями Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами Водоохлаждаемые фланцы собственного производства Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой) Удобная в обслуживании конструкция Современная модульная система управления собственной разработки и производства Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойну
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для LPCVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от -SVCS -(Чехия). -
Конструкция печей компании SVCS для процессов осаждения при пониженном давлении LPCVD сочетает в себе различные варианты построения оборудования. В зависимости от нужд заказчика, это могут быть как системы максимальной производительности (SVсFUR-FP), так и системы, обеспечивающие высокую гибкость технологических процессов при малых объемах производства, для использования в научных исследованиях и опытно-промышленном производстве (SVсFUR-RD). Серия SVсFUR представляет собой простые в обслуживании, безопасные и надежные технологические платформы.
Процессы: -
- Нитрид кремния
- Низкотемпературный оксид (LTO)
- Высокотемпературный оксид (HTO)
- ТЭОС
- Поликремний
- Легированный поликремний
- Оксинитрид
Особенности
- Термическая обработка пластин диаметром до 300 мм
- Современная модульная система управления собственной разработки и производства
- Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого оборудования
- До 4 горизонтальных кварцевых реакторов для различных процессов
- Различные способы управления уровнем вакуума (с нагревом или без нагрева)
- Поворотный дисковый затвор&ndash- TBV
- Применение балластного азота
- Частотное управление вакуумным насосом
- Интеграция вакуумных насосов в сотрудничестве с ведущими производителями
- Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
- Водоохлаждаемые фланцы собственного производства
- Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
- Удобная в обслуживании конструкция
- Современная модульная система управления собственной разработки и производства
- Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого оборудования
- До 4 кварцевых или карбидкремниевых реакторов для различных процессов
- Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
- Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
- Удобная в обслуживании конструкция
Запросить брошюру в PDF
Размер пластин 50мм, 75мм, 100мм, 150мм, 200мм, 300мм или любой другой
Размер партии SVaFUR-FP: 100 и более пластин - -и -SVaFUR-RD: 25 пластин (обычно)
Система нагрева 3 или 5 зонная -SVaFUR-FP:до 1067мм (42") -и -SVaFUR-RD: до 300мм (12")
0.5°-C равномерность температуры по длине
Температура процессов 200°-C до 1300°-C
Энергопотребление - 80кВт &ndash- 150кВт в зависимости от конфигурации труб, -
300мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 140 A, 50 - 60 Гц, -
200мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 160A, 60гц -
(системы могут быть адаптированы под требование электрического подключения в любой стране)
Сухой чистый воздух 70 &ndash- 110 psig (4,8 to 7,6 bar)
Водя для охлаждения 40 - 60 LPM, Выхлоп -210m³-/h на трубу
Опции лифт для лодочек и автоматическая загрузка подающей лопатки
Стимер для влажного окисления -
id позиции 5406011
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для LPCVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от -SVCS -(Чехия). -
Конструкция печей компании SVCS для процессов осаждения при пониженном давлении LPCVD сочетает в себе различные варианты построения оборудования. В зависимости от нужд заказчика, это могут быть как системы максимальной производительности (SVсFUR-FP), так и системы, обеспечивающие высокую гибкость технологических процессов при малых объемах производства, для использования в научных исследованиях и опытно-промышленном производстве (SVсFUR-RD). Серия SVсFUR представляет собой простые в обслуживании, безопасные и надежные технологические платформы.
Процессы: -
- Нитрид кремния
- Низкотемпературный оксид (LTO)
- Высокотемпературный оксид (HTO)
- ТЭОС
- Поликремний
- Легированный поликремний
- Оксинитрид
Особенности
- Термическая обработка пластин диаметром до 300 мм
- Современная модульная система управления собственной разработки и производства
- Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого оборудования
- До 4 горизонтальных кварцевых реакторов для различных процессов
- Различные способы управления уровнем вакуума (с нагревом или без нагрева)
- Поворотный дисковый затвор&ndash- TBV
- Применение балластного азота
- Частотное управление вакуумным насосом
- Интеграция вакуумных насосов в сотрудничестве с ведущими производителями
- Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
- Водоохлаждаемые фланцы собственного производства
- Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
- Удобная в обслуживании конструкция
- Современная модульная система управления собственной разработки и производства
- Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого оборудования
- До 4 кварцевых или карбидкремниевых реакторов для различных процессов
- Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
- Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
- Удобная в обслуживании конструкция
Запросить брошюру в PDF
| Размер пластин | 50мм, 75мм, 100мм, 150мм, 200мм, 300мм или любой другой |
| Размер партии | SVaFUR-FP: 100 и более пластин - -и -SVaFUR-RD: 25 пластин (обычно) |
| Система нагрева | 3 или 5 зонная -SVaFUR-FP:до 1067мм (42") -и -SVaFUR-RD: до 300мм (12")
0.5°-C равномерность температуры по длине |
| Температура процессов | 200°-C до 1300°-C |
| Энергопотребление - | 80кВт &ndash- 150кВт в зависимости от конфигурации труб, -
300мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 140 A, 50 - 60 Гц, -
200мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 160A, 60гц -
(системы могут быть адаптированы под требование электрического подключения в любой стране) |
| Сухой чистый воздух | 70 &ndash- 110 psig (4,8 to 7,6 bar) |
| Водя для охлаждения | 40 - 60 LPM, Выхлоп -210m³-/h на трубу |
| Опции | лифт для лодочек и автоматическая загрузка подающей лопатки
Стимер для влажного окисления - |
| |
