Горизонтальная диффузионная печь SVCS для атмосферных процессов

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для атмосферных процессов -для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от -SVCS -(Чехия). -

Конструкция атмосферных диффузионных печей компании SVCS сочетает в себе различные варианты построения обору­дования. В зависимости от нужд заказчика, это могут быть как системы максимальной производительности (SVaFUR-FP), так и системы, обеспечивающие высокую гибкость технологических процессов при малых объемах производства, для исполь­зования в научных исследованиях и опытно-промышленном производстве (SVaFUR-RD). Серия SVFUR представляет собой простые в обслуживании, безопасные и надежные технологические платформы.

Процессы: -
- Диффузия (загонка), высоко­температурные процессы
- Легирование из твердых, жидких и газообразных источников, например: BBr?, B2H6, POCL?, PH?, BN
- Различные термические процессы: отжиг, вжигание, -спекание
- Пирогенное окисление с внешней горелкой
- Влажное окисление с исполь­зованием сверхчистого пара
- Сухое окисление
- HiPOx (Окисление под повышенным давлением)
- Применение DCE (TCA) или HCl для всех процессов

Особенности

• Термическая обработка пластин диаметром до 300 мм
• Современная модульная система управления собственной разработки и производства
• Исполь­зование высоко­качественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого обору­дования
• До 4 кварцевых или карбидкремниевых реакторов для различных процессов
• Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
• Бесконтактная, полностью авто­матическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
• Удобная в обслуживании конструкция

SVaFUR-FP: 150 и более пластин - -и -SVaFUR-RD: 25 пластин (обычно)

3 или 5 зонная -SVaFUR-FP:до 1067мм (42") -и -SVaFUR-RD: до 300мм (12")
0.5°-C равномерность температуры по длине

95кВт &ndash- 165кВт в зависимости от конфигурации труб, -
300мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 140 A, 50 - 60 Гц, -
200мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 160A, 60гц -
(системы могут быть адаптированы под требование электрического подключения в любой стране)

40 - 60 LPM, Выхлоп -210m³-/h на трубу

лифт для лодочек и авто­матическая загрузка подающей лопатки
Стимер для влажного окисления -

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для атмосферных процессов -для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от -SVCS -(Чехия). -

Конструкция атмосферных диффузионных печей компании SVCS сочетает в себе различные варианты построения обору­дования. В зависимости от нужд заказчика, это могут быть как системы максимальной производительности (SVaFUR-FP), так и системы, обеспечивающие высокую гибкость технологических процессов при малых объемах производства, для исполь­зования в научных исследованиях и опытно-промышленном производстве (SVaFUR-RD). Серия SVFUR представляет собой простые в обслуживании, безопасные и надежные технологические платформы.

Процессы: -
- Диффузия (загонка), высоко­температурные процессы
- Легирование из твердых, жидких и газообразных источников, например: BBr?, B2H6, POCL?, PH?, BN
- Различные термические процессы: отжиг, вжигание, -спекание
- Пирогенное окисление с внешней горелкой
- Влажное окисление с исполь­зованием сверхчистого пара
- Сухое окисление
- HiPOx (Окисление под повышенным давлением)
- Применение DCE (TCA) или HCl для всех процессов

Особенности

• Термическая обработка пластин диаметром до 300 мм
• Современная модульная система управления собственной разработки и производства
• Исполь­зование высоко­качественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого обору­дования
• До 4 кварцевых или карбидкремниевых реакторов для различных процессов
• Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
• Бесконтактная, полностью авто­матическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
• Удобная в обслуживании конструкция