Зондовая станция - MPI TS200-SE  -(ShieldEnvironment&trade-) -производства - MPI (Тайвань)  - -разработана с возможностью обеспечения защиты от электромагнитных излучений, радиочастотных помех, выполнения светоустойчивых, малошумных измерений с малой утечкой в температурном диапазоне от -60 до +300°-C, включая снятие параметров структур на этапе моделирования, высокочастотные измерения и измерения в миллиметровом диапазоне, анализ отказов, надежность на уровне кристалла подложки, подтверждение правильности проектного решения и моделирование устройств высокой мощности. Особенности Тестирование на образцах (пластинах) до 200 мм Экранирование для светочувствительных измерений, защиты от электромагнит ых помех, температурные измерения Устойчивая плита, допускающая установку до 8 DC или 4 RF-позиционеров Измерения при температура от -60 до +300 - o C Антивибрационная платформа в комплекте Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria Возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жесткого моста для микроскопа Функции и преимущества - ShielDEnvironment&trade- ShielDEnvironment&trade- компании MPI представляет собой высокоэффективную камеру для испытаний на локальные внешние воздействия, которая обеспечивает условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электромагнитного и светового излучения. ShielDCap&trade- Полностью конфигурируемая часть камеры MPI ShielDEnvironment&trade-, которая обеспечивает использование до 4 микропозиционеров для высокочастотных измерений или до 8 микропозиционеров для высокотемпературных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию. Легкое изменение конфигурации, свойственное MPI ShielDCap&trade- облегчает работу с системой, позволяя легко изменять конфигурацию. Полная версия ShielDCap представляет собой заменяемый вариант с защитой от электромаг
Зондовая станция -MPI TS200-SE -(ShieldEnvironment&trade-) -производства -MPI (Тайвань) - -разработана с возможностью обеспечения защиты от электромагнитных излучений, радиочастотных помех, выполнения светоустойчивых, малошумных измерений с малой утечкой в температурном диапазоне от -60 до +300°-C, включая снятие параметров структур на этапе моделирования, высокочастотные измерения и измерения в миллиметровом диапазоне, анализ отказов, надежность на уровне кристалла подложки, подтверждение правильности проектного решения и моделирование устройств высокой мощности.
Особенности
- Тестирование на образцах (пластинах) до 200 мм
- Экранирование для светочувствительных измерений, защиты от электромагнит ых помех, температурные измерения
- Устойчивая плита, допускающая установку до 8 DC или 4 RF-позиционеров
- Измерения при температура от -60 до +300 -oC
- Антивибрационная платформа в комплекте
- Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria
- Возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жесткого моста для микроскопа
- Функции и преимущества -ShielDEnvironment&trade-
ShielDEnvironment&trade- компании MPI представляет собой высокоэффективную камеру для испытаний на локальные внешние воздействия, которая обеспечивает условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электромагнитного и светового излучения. - ShielDCap&trade-
Полностью конфигурируемая часть камеры MPI ShielDEnvironment&trade-, которая обеспечивает использование до 4 микропозиционеров для высокочастотных измерений или до 8 микропозиционеров для высокотемпературных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию. Легкое изменение конфигурации, свойственное MPI ShielDCap&trade- облегчает работу с системой, позволяя легко изменять конфигурацию. Полная версия ShielDCap представляет собой заменяемый вариант с защитой от электромагнитных излучений держателя проб-карт. - Платформа с пневматическим подшипником
Функции подъема платформы и держателя пластин станции TS200-SE аналогичны зондовым станциям MPI TS-150, TS-200. Конструкция платформы с подшипником обеспечивает просто управление одной рукой держателя пластины, обеспечивает функцию быстрого перемещения по осям XY и быструю загрузку полупроводниковой пластины. Прецизионное и высокоточное позиционирование достигается за счет использования микрометрического винта по осям XY и углу с шагом 25 x 25 мм. - Уникальный механизм подъема платформы
Конструкция механизма подъема платформы с повторяемостью (1 мкм) имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 мкм) и загрузки (3 мм). Механизм подъема также оснащен безопасным запорным приспособлением, которое препятствует случайному наклону платформы. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины и обеспечивают интуитивное и точное размещение контакта, безопасную установку и повторяемость. - Высота подъема держателя по оси Z при загрузке
Величина подъема держателя станции TS200-SE по оси Z при загрузке/выгрузке пластины составляет 25 мм при увеличенном ходе движения платформы по оси Y (290 мм) для упрощения загрузки/выгрузки полупроводниковой пластины в системе ShieldEnvironment&trade-. - Держатели полупроводниковых пластин
Станция TS200-SE оснащена различными держателями: Температурные держатели пластин: коаксиальные, триаксиальные, высокочастотные с двумя дополнительными держателями, встроенными в керамический материал для прецизионной высокочастотной калибровки- Различные держатели пластин ERS AirCool ( с воздушным охлаждением) для -температурного диапозона от 60°-С до 300°-С. - Запатентованная технология охлаждения AC3 по шкале ERS
Держатели включают запатентованную технологию охлаждения AC3 по шкале ERS и систему управления подачей воздуха для очистки системы MPI ShieldEnvironment&trade- использованным воздухом, сокращая, таким образом, потребление воздуха на 30 &ndash- 50 % по сравнению с другими станциями, представленными на рынке. - Микроскоп и оптика
Компания MPI предлагает широкий ассортимент оптических устройств (посетите MPI Optics) &ndash- от монокулярных микроскопов MPI SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм. -
Скачать брощюру MPI TS200-SE в PDF
RF зонды для станций MPI в PDF
Скачать схему станции MPI TS200-SE в PDF
Стандартный предметный столик (другие по запросу) Максимальный размер пластины (кристалла) до 200 мм
Перемещение предметного столика по XY 250 x 295 мм
Разрешение перемещения 5 мкм
Плоскостност столика <- 10 мкм
Угол вращения столика (грубый / точный) - 360
o -/ +/- 5
o Угловая точночть 7.5 x 10-3 градиент
Перемещение образца Пантограф на воздушных подшипниках(шайбовый контроль)
Электропитание 200-240 V AC 50/60 Hz только для оптических комплектующих
Вакуум - 0,5 Бар
Производитель ShieldEnvironment™
id позиции 5406050
Зондовая станция -MPI TS200-SE -(ShieldEnvironment&trade-) -производства -MPI (Тайвань) - -разработана с возможностью обеспечения защиты от электромагнитных излучений, радиочастотных помех, выполнения светоустойчивых, малошумных измерений с малой утечкой в температурном диапазоне от -60 до +300°-C, включая снятие параметров структур на этапе моделирования, высокочастотные измерения и измерения в миллиметровом диапазоне, анализ отказов, надежность на уровне кристалла подложки, подтверждение правильности проектного решения и моделирование устройств высокой мощности.
Особенности
- Тестирование на образцах (пластинах) до 200 мм
- Экранирование для светочувствительных измерений, защиты от электромагнит ых помех, температурные измерения
- Устойчивая плита, допускающая установку до 8 DC или 4 RF-позиционеров
- Измерения при температура от -60 до +300 -oC
- Антивибрационная платформа в комплекте
- Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria
- Возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жесткого моста для микроскопа
- Функции и преимущества -ShielDEnvironment&trade-
ShielDEnvironment&trade- компании MPI представляет собой высокоэффективную камеру для испытаний на локальные внешние воздействия, которая обеспечивает условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электромагнитного и светового излучения. - ShielDCap&trade-
Полностью конфигурируемая часть камеры MPI ShielDEnvironment&trade-, которая обеспечивает использование до 4 микропозиционеров для высокочастотных измерений или до 8 микропозиционеров для высокотемпературных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию. Легкое изменение конфигурации, свойственное MPI ShielDCap&trade- облегчает работу с системой, позволяя легко изменять конфигурацию. Полная версия ShielDCap представляет собой заменяемый вариант с защитой от электромагнитных излучений держателя проб-карт. - Платформа с пневматическим подшипником
Функции подъема платформы и держателя пластин станции TS200-SE аналогичны зондовым станциям MPI TS-150, TS-200. Конструкция платформы с подшипником обеспечивает просто управление одной рукой держателя пластины, обеспечивает функцию быстрого перемещения по осям XY и быструю загрузку полупроводниковой пластины. Прецизионное и высокоточное позиционирование достигается за счет использования микрометрического винта по осям XY и углу с шагом 25 x 25 мм. - Уникальный механизм подъема платформы
Конструкция механизма подъема платформы с повторяемостью (1 мкм) имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 мкм) и загрузки (3 мм). Механизм подъема также оснащен безопасным запорным приспособлением, которое препятствует случайному наклону платформы. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины и обеспечивают интуитивное и точное размещение контакта, безопасную установку и повторяемость. - Высота подъема держателя по оси Z при загрузке
Величина подъема держателя станции TS200-SE по оси Z при загрузке/выгрузке пластины составляет 25 мм при увеличенном ходе движения платформы по оси Y (290 мм) для упрощения загрузки/выгрузки полупроводниковой пластины в системе ShieldEnvironment&trade-. - Держатели полупроводниковых пластин
Станция TS200-SE оснащена различными держателями: Температурные держатели пластин: коаксиальные, триаксиальные, высокочастотные с двумя дополнительными держателями, встроенными в керамический материал для прецизионной высокочастотной калибровки- Различные держатели пластин ERS AirCool ( с воздушным охлаждением) для -температурного диапозона от 60°-С до 300°-С. - Запатентованная технология охлаждения AC3 по шкале ERS
Держатели включают запатентованную технологию охлаждения AC3 по шкале ERS и систему управления подачей воздуха для очистки системы MPI ShieldEnvironment&trade- использованным воздухом, сокращая, таким образом, потребление воздуха на 30 &ndash- 50 % по сравнению с другими станциями, представленными на рынке. - Микроскоп и оптика
Компания MPI предлагает широкий ассортимент оптических устройств (посетите MPI Optics) &ndash- от монокулярных микроскопов MPI SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм. -
Скачать брощюру MPI TS200-SE в PDF
RF зонды для станций MPI в PDF
Скачать схему станции MPI TS200-SE в PDF
Стандартный предметный столик (другие по запросу) |
Максимальный размер пластины (кристалла) | до 200 мм |
Перемещение предметного столика по XY | 250 x 295 мм |
Разрешение перемещения | 5 мкм |
Плоскостност столика | <- 10 мкм |
Угол вращения столика (грубый / точный) - | 360o -/ +/- 5o |
Угловая точночть | 7.5 x 10-3 градиент |
Перемещение образца | Пантограф на воздушных подшипниках(шайбовый контроль) |
Электропитание | 200-240 V AC 50/60 Hz только для оптических комплектующих |
Вакуум - | 0,5 Бар |
Производитель | ShieldEnvironment™ |
id позиции | 5406050 |