Ручная зондовая измерительная станция ShieldEnvironment™ MPI TS200-SE с экранированием от EMI/RFI/Temperature

Зондовая станция -MPI TS200-SE -(ShieldEnvironment&trade-) -производства -MPI (Тайвань) - -разработана с возможностью обеспечения защиты от электро­магнитных излучений, радиочастотных помех, выполнения светоустойчивых, малошумных измерений с малой утечкой в температурном диапазоне от -60 до +300°-C, включая снятие параметров структур на этапе моделирования, высоко­частотные измерения и измерения в миллиметровом диапазоне, анализ отказов, надежность на уровне кристалла подложки, подтверждение правильности проектного решения и моделирование устройств высокой мощности.

Особенности

• Тестирование на образцах (пластинах) до 200 мм
• Экранирование для светочувствительных измерений, защиты от электро­магнит ых помех, температурные измерения
• Устойчивая плита, допускающая установку до 8 DC или 4 RF-позиционеров
• Измерения при температура от -60 до +300 -^oC
• Антивибрационная платформа в комплекте
• Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria
• Возможность исполь­зования дополнительного навешиваемого на микроскоп обору­дования при помощи жесткого моста для микроскопа
• Функции и преимущества -ShielDEnvironment&trade-
  ShielDEnvironment&trade- компании MPI представляет собой высоко­эффективную камеру для испытаний на локальные внешние воздействия, которая обеспечивает условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электро­магнитного и светового излучения.
• ShielDCap&trade-
  Полностью конфигурируемая часть камеры MPI ShielDEnvironment&trade-, которая обеспечивает исполь­зование до 4 микропозиционеров для высоко­частотных измерений или до 8 микропозиционеров для высоко­температурных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию. Легкое изменение конфигурации, свойственное MPI ShielDCap&trade- облегчает работу с системой, позволяя легко изменять конфигурацию. Полная версия ShielDCap представляет собой заменяемый вариант с защитой от электро­магнитных излучений держателя проб-карт.
• Платформа с пневматическим подшипником
  Функции подъема платформы и держателя пластин станции TS200-SE аналогичны зондовым станциям MPI TS-150, TS-200. Конструкция платформы с подшипником обеспечивает просто управление одной рукой держателя пластины, обеспечивает функцию быстрого перемещения по осям XY и быструю загрузку полупроводниковой пластины. Прецизионное и высоко­точное позиционирование достигается за счет исполь­зования микрометрического винта по осям XY и углу с шагом 25 x 25 мм.
• Уникальный механизм подъема платформы
  Конструкция механизма подъема платформы с повторяемостью (1 мкм) имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 мкм) и загрузки (3 мм). Механизм подъема также оснащен безопасным запорным приспособлением, которое препятствует случайному наклону платформы. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины и обеспечивают интуитивное и точное размещение контакта, безопасную установку и повторяемость.
• Высота подъема держателя по оси Z при загрузке
  Величина подъема держателя станции TS200-SE по оси Z при загрузке/выгрузке пластины составляет 25 мм при увеличенном ходе движения платформы по оси Y (290 мм) для упрощения загрузки/выгрузки полупроводниковой пластины в системе ShieldEnvironment&trade-.
• Держатели полупроводниковых пластин
  Станция TS200-SE оснащена различными держателями: Температурные держатели пластин: коаксиальные, триаксиальные, высоко­частотные с двумя дополнительными держателями, встроенными в керамический материал для прецизионной высоко­частотной калибровки- Различные держатели пластин ERS AirCool ( с воздушным охлаждением) для -температурного диапозона от 60°-С до 300°-С.
• Запатентованная технология охлаждения AC3 по шкале ERS
  Держатели включают запатентованную технологию охлаждения AC3 по шкале ERS и систему управления подачей воздуха для очистки системы MPI ShieldEnvironment&trade- исполь­зованным воздухом, сокращая, таким образом, потребление воздуха на 30 &ndash- 50 % по сравнению с другими станциями, представленными на рынке.
• Микроскоп и оптика
  Компания MPI предлагает широкий ассортимент оптических устройств (посетите MPI Optics) &ndash- от монокулярных микроскопов MPI SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм.

   -

Скачать брощюру MPI TS200-SE в PDF
RF зонды для станций MPI в PDF
Скачать схему станции MPI TS200-SE в PDF

до 200 мм

250 x 295 мм

5 мкм

Зондовая станция -MPI TS200-SE -(ShieldEnvironment&trade-) -производства -MPI (Тайвань) - -разработана с возможностью обеспечения защиты от электро­магнитных излучений, радиочастотных помех, выполнения светоустойчивых, малошумных измерений с малой утечкой в температурном диапазоне от -60 до +300°-C, включая снятие параметров структур на этапе моделирования, высоко­частотные измерения и измерения в миллиметровом диапазоне, анализ отказов, надежность на уровне кристалла подложки, подтверждение правильности проектного решения и моделирование устройств высокой мощности.

Особенности

• Тестирование на образцах (пластинах) до 200 мм
• Экранирование для светочувствительных измерений, защиты от электро­магнит ых помех, температурные измерения
• Устойчивая плита, допускающая установку до 8 DC или 4 RF-позиционеров
• Измерения при температура от -60 до +300 -^oC
• Антивибрационная платформа в комплекте
• Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria
• Возможность исполь­зования дополнительного навешиваемого на микроскоп обору­дования при помощи жесткого моста для микроскопа
• Функции и преимущества -ShielDEnvironment&trade-
  ShielDEnvironment&trade- компании MPI представляет собой высоко­эффективную камеру для испытаний на локальные внешние воздействия, которая обеспечивает условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электро­магнитного и светового излучения.
• ShielDCap&trade-
  Полностью конфигурируемая часть камеры MPI ShielDEnvironment&trade-, которая обеспечивает исполь­зование до 4 микропозиционеров для высоко­частотных измерений или до 8 микропозиционеров для высоко­температурных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию. Легкое изменение конфигурации, свойственное MPI ShielDCap&trade- облегчает работу с системой, позволяя легко изменять конфигурацию. Полная версия ShielDCap представляет собой заменяемый вариант с защитой от электро­магнитных излучений держателя проб-карт.
• Платформа с пневматическим подшипником
  Функции подъема платформы и держателя пластин станции TS200-SE аналогичны зондовым станциям MPI TS-150, TS-200. Конструкция платформы с подшипником обеспечивает просто управление одной рукой держателя пластины, обеспечивает функцию быстрого перемещения по осям XY и быструю загрузку полупроводниковой пластины. Прецизионное и высоко­точное позиционирование достигается за счет исполь­зования микрометрического винта по осям XY и углу с шагом 25 x 25 мм.
• Уникальный механизм подъема платформы
  Конструкция механизма подъема платформы с повторяемостью (1 мкм) имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 мкм) и загрузки (3 мм). Механизм подъема также оснащен безопасным запорным приспособлением, которое препятствует случайному наклону платформы. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины и обеспечивают интуитивное и точное размещение контакта, безопасную установку и повторяемость.
• Высота подъема держателя по оси Z при загрузке
  Величина подъема держателя станции TS200-SE по оси Z при загрузке/выгрузке пластины составляет 25 мм при увеличенном ходе движения платформы по оси Y (290 мм) для упрощения загрузки/выгрузки полупроводниковой пластины в системе ShieldEnvironment&trade-.
• Держатели полупроводниковых пластин
  Станция TS200-SE оснащена различными держателями: Температурные держатели пластин: коаксиальные, триаксиальные, высоко­частотные с двумя дополнительными держателями, встроенными в керамический материал для прецизионной высоко­частотной калибровки- Различные держатели пластин ERS AirCool ( с воздушным охлаждением) для -температурного диапозона от 60°-С до 300°-С.
• Запатентованная технология охлаждения AC3 по шкале ERS
  Держатели включают запатентованную технологию охлаждения AC3 по шкале ERS и систему управления подачей воздуха для очистки системы MPI ShieldEnvironment&trade- исполь­зованным воздухом, сокращая, таким образом, потребление воздуха на 30 &ndash- 50 % по сравнению с другими станциями, представленными на рынке.
• Микроскоп и оптика
  Компания MPI предлагает широкий ассортимент оптических устройств (посетите MPI Optics) &ndash- от монокулярных микроскопов MPI SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм.

   -

Скачать брощюру MPI TS200-SE в PDF
RF зонды для станций MPI в PDF
Скачать схему станции MPI TS200-SE в PDF