×
Рефлектометр RM 1000
Рефлектометры серии RM 1000/RM 2000 от SENTECH Instruments GmbH Спектроскопические (спетральные) рефлектометры моделей RM 1000 и RM 2000 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света. Измерение показателя преломления и толщины пленок и абсорбци на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.д.) Спектральный диапазон: RM 1000: 430-930 нм. RM 2000: 200 - 1000 нм. В область измерений, осуществляемых данными приборами, входят измерения однослойных и многослойных покрытий на полупроводниках, стекле, пластике, металле и глянцевой бумаге Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления единичных слоев или многослойных прозрачных и полупрозрачных пленок в производстве или лаборатории. Особенности Измерение пленок как на гладких так и на шероховатых поверхностях. Расширенный диапазон измерения толщин пленок от 2 до 50000 нм (в зависимости от модели). Размер пятна измерения 80 и 100 мкм, что позволяет проводить измерения напластине с топологией Высокая стабильность и точность при измерении. Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ). Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др. Дружественный интерфейс и легкость работы. Высокая скорость измерений Программное обеспечение FTPadv EXPERT SENTECH для проведения измерений, включающее в себя библиотеку приложений n, k массивного материала толщина монослоев толщина и индекс преломления монослоев толщина и индекс преломления верхнего слоя и многослойной структуры Большая база данных материалов для измерений Опции: - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования) - Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС. - ПО для иммитационного моделирования (SpectraRay/3) - Установка для измерений пленок на кристаллическом кремнии (текстурированном)
ХарактеристикиМодель RM 1000 RM 2000 Измеряемые величины Толщина пленки, индекс преломления, абсорбция и др. Принцып действия Интерферренция белого света при нормальном угле падения Интерферренция белого света при нормальном угле падения Спектральный диапазон 430 - 930 нм. 200 - 1000 нм. Время измерения около 300 мс. около 300 мс. Диапазон измеряемых толщин 20 - 25000 нм. (в зависимости от пленки) 2 - 50000 нм. (в зависимости от пленки) Диамерт светового пятна 80 мкм 100 мкм. Точность измерения тощины 1 нм (изм. 400 нм SiO2/Si) Воспроизводимость (1σ) 0,3 нм. (изм. 400 нм SiO2/Si) Источник света Стаблизированная галогеновая лампа Стабилизированные дейтериумная и галогеновая лампы Программное обеспечение FTPadv Expert Рефлектометры серии RM 1000/RM 2000 от SENTECH Instruments GmbH Спектроскопические (спетральные) рефлектометры моделей RM 1000 и RM 2000 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света. Измерение показателя преломления и толщины пленок и абсорбци на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.д.) Спектральный диапазон: RM 1000: 430-930 нм. RM 2000: 200 - 1000 нм. В область измерений, осуществляемых данными приборами, входят измерения однослойных и многослойных покрытий на полупроводниках, стекле, пластике, металле и глянцевой бумаге Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления единичных слоев или многослойных прозрачных и полупрозрачных пленок в производстве или лаборатории. Особенности Измерение пленок как на гладких так и на шероховатых поверхностях. Расширенный диапазон измерения толщин пленок от 2 до 50000 нм (в зависимости от модели). Размер пятна измерения 80 и 100 мкм, что позволяет проводить измерения напластине с топологией Высокая стабильность и точность при измерении. Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ). Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др. Дружественный интерфейс и легкость работы. Высокая скорость измерений Программное обеспечение FTPadv EXPERT SENTECH для проведения измерений, включающее в себя библиотеку приложений n, k массивного материала толщина монослоев толщина и индекс преломления монослоев толщина и индекс преломления верхнего слоя и многослойной структуры Большая база данных материалов для измерений Опции: - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования) - Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС. - ПО для иммитационного моделирования (SpectraRay/3) - Установка для измерений пленок на кристаллическом кремнии (текстурированном)
Характеристики
Товары конкурентов
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
2009-2024 © All Rights Reserved
|
|