Стилусный профилометр Alpha-Step D-500 Стилусный профилометр Alpha-Step® D-500 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций. Построенный на современной и не усложненной излишне платформе, этот профилометр выделяется на современном рынке сочетанием простоты работы, великолепными результатами и приятной стоимостью. D-500 оборудован инновационным оптическим сенсором уровня, который обеспечивает самый высокий вертикальный диапазон в 1200 мкм, субмикронное разрешение и программируемое усилие нажатия от 0.03 до 15 мг. Широкий спектр применений, таких как: измерения высотных ступенек от нанометров до миллиметров, шероховатости с высоким разрешением, исследования мягких материалов и напряжений в тонких пленках позволяет D-500 служить незаменимым инструментом в различных отраслях промышленности и в научно-исследовательских работах. D-500 имеет 140-миллиметровый рабочий столик. Профилометр характеризуется продвинутой оптикой, 5 МР камерой высокого разрешения с 4Х цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации. Применение: Точный шаг высоты Исследования текстуры поверхности Напряжения в тонких пленках Исследование биологических объектов Микроэлектромеханические системы (MEMS) Форма и наклон поверхности Характеризация материалов Прецизионное измерение вертикальных ступенек на поверхности Исследование шероховатости и дефектности поверхности Особенности Стилусный профилометр D-500 имеет широкий спектр применений, определенных его возможностями, и удовлетворяет потребностям как исследований и разработки, так и производства. Рабочий столик на 140 мм обеспечивает длину сканирования до 30 мм без необходимости прерывания сканирования и сшивки профилей, и до 80 мм при использовании функции сшивания. D-500 предоставляет
Стилусный профилометр Alpha-Step D-500
Стилусный профилометр Alpha-Step® D-500 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.
Построенный на современной и не усложненной излишне платформе, этот профилометр выделяется на современном рынке сочетанием простоты работы, великолепными результатами и приятной стоимостью. D-500 оборудован инновационным оптическим сенсором уровня, который обеспечивает самый высокий вертикальный диапазон в 1200 мкм, субмикронное разрешение и программируемое усилие нажатия от 0.03 до 15 мг. Широкий спектр применений, таких как: измерения высотных ступенек от нанометров до миллиметров, шероховатости с высоким разрешением, исследования мягких материалов и напряжений в тонких пленках позволяет D-500 служить незаменимым инструментом в различных отраслях промышленности и в научно-исследовательских работах.
D-500 имеет 140-миллиметровый рабочий столик. Профилометр характеризуется продвинутой оптикой, 5 МР камерой высокого разрешения с 4Х цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации.
Применение:
- Точный шаг высоты
- Исследования текстуры поверхности
- Напряжения в тонких пленках
- Исследование биологических объектов
- Микроэлектромеханические системы (MEMS)
- Форма и наклон поверхности
- Характеризация материалов
- Прецизионное измерение вертикальных ступенек на поверхности
- Исследование шероховатости и дефектности поверхности
Особенности
- Стилусный профилометр D-500 имеет широкий спектр применений, определенных его возможностями, и удовлетворяет потребностям как исследований и разработки, так и производства.
- Рабочий столик на 140 мм обеспечивает длину сканирования до 30 мм без необходимости прерывания сканирования и сшивки профилей, и до 80 мм при использовании функции сшивания. D-500 предоставляет самый высокий вертикальный диапазон измерений до 1200 мкм и технологию сенсора низкого усилия до 0.03 мг, это гарантирует точность сканирование для множества приложений, включая тонкие пленки, мягкие материалы, высокие шаги высот, изгиб и напряжение.
- D-500 имеет передовую оптику, которая включает 5 МП камеру высокого разрешения с 4x цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации.
- Сверхвысокоточное изготовление оптического датчика уровня обеспечивает его конструкции высокую безинерционность и самые низкие шумы. Результатом этого является повторяемость измерений высоты шага на уровне 5 Å для 1 мкм шага высоты.
- Новый интерфейс позволяет провести автоматическую фокусировку на поверхности образца, обеспечивает отдельный контроль лампы освещения и яркости камеры, контроль контрастности и цифровое увеличение до 4Х. Рецепт и системные средства управления отображают в одном окне расположение образца и текущее измерение. Сохранение исходных данных позволяет производить пересчет без повторных измерений.
- Новое программное обеспечение корректировки трапецеидального искажения автоматически удаляет типовые искажение вносимые угловой оптикой.
- Специальное программное обеспечение удаляет ошибку движения по дуге во время сканирования, улучшая точность измерений углов боковой стенки и ширины шага.
- Опция 2D напряжения использует Уравнение Стони и изменения изгиба образца перед и после обработки для вычисления напряжения в тонкой пленке.
Характеристики
Столик 140 мм
Длина сканирования (хода стилуса) до 30 мм без сшивки
до 80 мм с применением сшивки
Вертикальный диапазон измерения до 1200 мкм
Повторяемость 5Å при измерении ступени 1 мкм
Стилусный профилометр Alpha-Step D-500
Стилусный профилометр Alpha-Step® D-500 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.
Построенный на современной и не усложненной излишне платформе, этот профилометр выделяется на современном рынке сочетанием простоты работы, великолепными результатами и приятной стоимостью. D-500 оборудован инновационным оптическим сенсором уровня, который обеспечивает самый высокий вертикальный диапазон в 1200 мкм, субмикронное разрешение и программируемое усилие нажатия от 0.03 до 15 мг. Широкий спектр применений, таких как: измерения высотных ступенек от нанометров до миллиметров, шероховатости с высоким разрешением, исследования мягких материалов и напряжений в тонких пленках позволяет D-500 служить незаменимым инструментом в различных отраслях промышленности и в научно-исследовательских работах.
D-500 имеет 140-миллиметровый рабочий столик. Профилометр характеризуется продвинутой оптикой, 5 МР камерой высокого разрешения с 4Х цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации.
Применение:
- Точный шаг высоты
- Исследования текстуры поверхности
- Напряжения в тонких пленках
- Исследование биологических объектов
- Микроэлектромеханические системы (MEMS)
- Форма и наклон поверхности
- Характеризация материалов
- Прецизионное измерение вертикальных ступенек на поверхности
- Исследование шероховатости и дефектности поверхности
Особенности
- Стилусный профилометр D-500 имеет широкий спектр применений, определенных его возможностями, и удовлетворяет потребностям как исследований и разработки, так и производства.
- Рабочий столик на 140 мм обеспечивает длину сканирования до 30 мм без необходимости прерывания сканирования и сшивки профилей, и до 80 мм при использовании функции сшивания. D-500 предоставляет самый высокий вертикальный диапазон измерений до 1200 мкм и технологию сенсора низкого усилия до 0.03 мг, это гарантирует точность сканирование для множества приложений, включая тонкие пленки, мягкие материалы, высокие шаги высот, изгиб и напряжение.
- D-500 имеет передовую оптику, которая включает 5 МП камеру высокого разрешения с 4x цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации.
- Сверхвысокоточное изготовление оптического датчика уровня обеспечивает его конструкции высокую безинерционность и самые низкие шумы. Результатом этого является повторяемость измерений высоты шага на уровне 5 Å для 1 мкм шага высоты.
- Новый интерфейс позволяет провести автоматическую фокусировку на поверхности образца, обеспечивает отдельный контроль лампы освещения и яркости камеры, контроль контрастности и цифровое увеличение до 4Х. Рецепт и системные средства управления отображают в одном окне расположение образца и текущее измерение. Сохранение исходных данных позволяет производить пересчет без повторных измерений.
- Новое программное обеспечение корректировки трапецеидального искажения автоматически удаляет типовые искажение вносимые угловой оптикой.
- Специальное программное обеспечение удаляет ошибку движения по дуге во время сканирования, улучшая точность измерений углов боковой стенки и ширины шага.
- Опция 2D напряжения использует Уравнение Стони и изменения изгиба образца перед и после обработки для вычисления напряжения в тонкой пленке.
Характеристики
| Столик | 140 мм |
| Длина сканирования (хода стилуса) | до 30 мм без сшивки
до 80 мм с применением сшивки |
| Вертикальный диапазон измерения | до 1200 мкм |
| Повторяемость | 5Å при измерении ступени 1 мкм |
