Установка химико-механической планаризации E460 E

Установка химико-механической планаризации модели - E460 E -производства - Alpsitec -(Франция ) . Установка химико-механической планаризации модели - E460 E - предназна­чена для задач полировки и планаризации полупроводниковых и др. пластин в -НИОКР, мелко-серийном производстве и опытном производстве. - Установка позволяет обрабатывать как стандартные пластины диаметром 2",3",4",6" и 8", так и кусочки различной формы 10х10 мм 2 или др. - Установка имеет возможность устанавливать до 10 шагов одного процесса с установкой своих уникальных параметров процесса для каждого из шагов. Установка имеет ручную загрузку пластин с авто­матическим управлением процесса полировки. Стандартные держатели для пластин исполь­зуют вакуум для крепления, но также доступны и крепелние пластин на воск или на специальном шаблоне. Также компания готова изготовить специальный держатель по требования заказчика. Особенности Размеры пластин от кусочков до 8" (200 мм) Диаметр полировальника 460 мм или 480 мм (опция 615 мм) до 10 шагов в процессе Наличие вытяжки и кабинета Полировальники и оснастка для крепления щеток, алмазных дисков или кругов Различные процессы с различными расходниками (супензии и полировальники) в одной машине Модуль контроля температуры процесса Интегрированый датчик окончания процесса Детектор утечек воды Контроль процесса и его параметров: расход суспензии (до 4 суспензий), температура, скорость вращения полировальника, давление прижима, время процесса и др. Размеры (Ш х Г х В), мм 850 х 1353 х 2062 Вес, кг. 800 кг. Размер пластин от кусочков до 8" (200 мм) Занимаемая площадь, м2 1,15 - Электро­питание 220-380 В, 3 фазы, 50-60 Гц. Сжатый воздух 6-7 Бар (5 Бар минимально) Вода 1 Бар Мощность - около 2,5 кВт Потребление 40 литвов воды в час сжатый воздух 80 литров в мин. Мощность до 3 кВт вакуум Производитель Alpsitec Страна Франция

ПОКАЗАТИ ПОВНІСТЮ ≚