Вакуумная установка - Amod - произвдства - Angstrom Engineering Inc. (Канада) -- сконструирована и разработана для удовлетворения продвинутых требований к процессам в одной машине для исследований в области напыления тонких пленок и мелкосерийного производства. - Системы линейки - Å- mod -&ndash- установки сконфигурированы и сконструированы для напыления тонких пленок для удовлетворения самых продвинутых требований заказчика к процессам напыления и исследования тонких пленок. Флагманская -установка линейки моделей компании -Angstrom Engineering -полностью удовлетворяет требованиям заказчика и может даже быть составной частью кластерной системы. Программное обеспечение производства -Angstrom Engineering -объединяет множество различных компонентов системы, выдавая самую важную информацию по щелчку мыши. Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере. - - - Процессы: резистивное термическое испарение -(resistive thermal evaporation) - магнетронное напыление -(magnetron sputtering deposition) электронно-лучевое испарение -(electron beam evaporation) ионное напыление -(ion-assisted deposition) Особенности Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 300 мм (или до 3 х 100 мм, 150 х 150 мм) с заданием различной скорости вращения держателя Продвинутая система управления на базе ПК. Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция). Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция). Наполнение различными источниками -PVD -процессов согласно требованиям заказчика. Поддержка нескольких разных -PVD -процессов в одной камере. 1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой. 500мм x 500мм x 500мм высотой камера с выдвижной дверью на петлях (возможна -D-образная камера) Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов. Процесс последовательного или паралле
Вакуумная установка -Amod -произвдства -Angstrom Engineering Inc. (Канада) -- сконструирована и разработана для удовлетворения продвинутых требований к процессам в одной машине для исследований в области напыления тонких пленок и мелкосерийного производства. -
Системы линейки -Å-mod -&ndash- установки сконфигурированы и сконструированы для напыления тонких пленок для удовлетворения самых продвинутых требований заказчика к процессам напыления и исследования тонких пленок. Флагманская -установка линейки моделей компании -Angstrom Engineering -полностью удовлетворяет требованиям заказчика и может даже быть составной частью кластерной системы. Программное обеспечение производства -Angstrom Engineering -объединяет множество различных компонентов системы, выдавая самую важную информацию по щелчку мыши.
Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере. - - -
Процессы:
резистивное термическое испарение -(resistive thermal evaporation) -
магнетронное напыление -(magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение -(electron beam evaporation)
ионное напыление -(ion-assisted deposition)
Особенности
- Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 300 мм (или до 3 х 100 мм, 150 х 150 мм) с заданием различной скорости вращения держателя
Продвинутая система управления на базе ПК.
Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).
Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).
Наполнение различными источниками -PVD -процессов согласно требованиям заказчика.
Поддержка нескольких разных -PVD -процессов в одной камере.
1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой.
500мм x 500мм x 500мм высотой камера с выдвижной дверью на петлях (возможна -D-образная камера)
Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.
Процесс последовательного или параллельного -(co-deposition) -напыления.
Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция).
Контроль вакуума и вакуумная система:
- Автоматический форвакуумный насос
- Сухие насосы (опция)
- Высокий вакуум обеспечивается крио насосом или турбомолекулярным насосом -
- Пневматически воздушный фильтр
Управление процессом осаждения:
- теневая маска и выравнивание подложки
- легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса
- датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом
- конфигурация для реализации процесса соосаждения- -co-deposition -(параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)
- QCM -- изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников
- -Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.
- Нагрев подложки, охлаждение или доп. смещение на подложку
- Планетарное вращение (опция), напыление под различными углами (GLAD держатель- опци)
Запросить брошюру в PDF
id позиции 5405987
Вакуумная установка -Amod -произвдства -Angstrom Engineering Inc. (Канада) -- сконструирована и разработана для удовлетворения продвинутых требований к процессам в одной машине для исследований в области напыления тонких пленок и мелкосерийного производства. -
Системы линейки -Å-mod -&ndash- установки сконфигурированы и сконструированы для напыления тонких пленок для удовлетворения самых продвинутых требований заказчика к процессам напыления и исследования тонких пленок. Флагманская -установка линейки моделей компании -Angstrom Engineering -полностью удовлетворяет требованиям заказчика и может даже быть составной частью кластерной системы. Программное обеспечение производства -Angstrom Engineering -объединяет множество различных компонентов системы, выдавая самую важную информацию по щелчку мыши.
Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере. - - -
Процессы:
резистивное термическое испарение -(resistive thermal evaporation) -
магнетронное напыление -(magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение -(electron beam evaporation)
ионное напыление -(ion-assisted deposition)
Особенности
- Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 300 мм (или до 3 х 100 мм, 150 х 150 мм) с заданием различной скорости вращения держателя
Продвинутая система управления на базе ПК.
Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).
Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).
Наполнение различными источниками -PVD -процессов согласно требованиям заказчика.
Поддержка нескольких разных -PVD -процессов в одной камере.
1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой.
500мм x 500мм x 500мм высотой камера с выдвижной дверью на петлях (возможна -D-образная камера)
Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.
Процесс последовательного или параллельного -(co-deposition) -напыления.
Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция).
Контроль вакуума и вакуумная система:
- Автоматический форвакуумный насос
- Сухие насосы (опция)
- Высокий вакуум обеспечивается крио насосом или турбомолекулярным насосом -
- Пневматически воздушный фильтр
Управление процессом осаждения:
- теневая маска и выравнивание подложки
- легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса
- датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом
- конфигурация для реализации процесса соосаждения- -co-deposition -(параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)
- QCM -- изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников
- -Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.
- Нагрев подложки, охлаждение или доп. смещение на подложку
- Планетарное вращение (опция), напыление под различными углами (GLAD держатель- опци)
Запросить брошюру в PDF
