Установка AS-One для быстрых термических процессов RTP

Система - AS-One  -производства - Annealsys (Франция ) для быстрых термических процессов с холодными стенками в исполнении для пластин диаметром до - 4 дюймов (100 мм)  -и - до 6 дюймов (150 мм) . Применение: Быстрый термический отжиг (RTA -- -Rapid Thermal Annealing) Быстрое термическое окисление (RTO -- Rapid Thermal Oxidation) CVD -графена CVD -углеродных нанотрубок Диффузия, отжигконтактов Послеимплантационный отжиг Отжиг соединений полупроводников Нитридизация, Силицидирование, Сульфиризация и Селенизация Кристализация и Загустевание и др. Особенности Быстрая термическая обработка пластин диаметром 4" и 6" Компактная напольная конфигурация для экономии места Высокая надежность и низкая стоимость владения Технология холодных стенок из нержавеющей стали Высокая воспроизводимость процесса Ультра чистая среда и отсутствие загрязнений Высокая скорость охлаждения и низкий эффект памяти Высоко­вакуумная версия (10-6 Торр) доступна Пирометр и термопара для контроля температуры Быстрый цифровой контроллер температуры -PID До 5-ти газовых линий Скачать брощюру в PDF Скачать презентацию в PDF Температурный диапазон от комнатной -(RT) -до 1450°-C -(в зависимости от версии) Скорость нагрева Скорость нагрева до 200°-C/сек или до 50°-C/сек с графитовым держателем Скрорость охлаждения 50 °- C/сек в стандартном исполнении и до - 100°-C/сек со специальным обору­дованием (опция) Газовая система Возможность смешивать процессные газы, -Контроллеры массового расхода газа Вакуум от атм. (н.у.) до 10-6 Торр с турбомолекулярным насосом (опция) Контроль температуры измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером -PID -гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур Управление система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе -Windows Опции