Установка SprayCVD-050 от Annealsys

Лабораторная печь -для процессов -SprayCVD -на подложках диаметром до 2-ух дюймов производства - Annealsys (Франция) . Осаждение и отжиг (RTA) в одной камере.  - Применение: - -SprayCVD -и -быстрый термический отжиг (RTA -- -Rapid Thermal Annealing) в одной печи - Электро­оптические покрытия - Создание барьерных слоев - Каталитически активные покрытия - Электро­хромные покрытия - Прозрачные проводящие оксиды - Solid oxide fuel cell (SOFC) - Отжиг соединений полупроводников - - -Солнечные элементы: SnO2, ZnO, TiO2, In2O3,&hellip- - -Электро-оптические покрытия: NiO, Co3O4,&hellip- - -запоминающее устройство на сегнетоэлектриках: SrTiO3,&hellip- - -Изолирующие барьерные слои: MgO,&hellip- - -Каталитические активные покрытия: Co3O4 , NiCo2O4,&hellip- - -Полупроводники: Nb2O5,&hellip- - -Сверхпроводники: YBCO,&hellip- - -Электро­хромовые покрытия: WO3,&hellip- - -Твердооксидный топливный элементы: (SOFC): ZrO2, YSZ, GCO,&hellip- Особенности Термопроцессор для быстрого термического отжига и -SprayCVD -процессов -на 2-дюймовых пластинах Узкоспециализированные и исследовательские задачи применения Размер образцов: от нескольких квадратных миллиметров до 2-ух дюймов в диаметре или 2х2 дюйма Кварцевая труба камеры реактора с фланцами из нержавеющей стали Цилиндрические инфракрасные галогеновые лампы печи Очень высокая скорость нагрева Дверь с горизонтальным движением с кварцевым лотком для легкой загрузки/выгрузки пластин и установки термопар. Компактная напольная конфигурация для экономии места Высокая надежность и низкая стоимость владения Высокая воспроизводимость процесса Высокая скорость охлаждения и низкий эффект памяти Вакуумная версия (10-3 Торр) - Пирометр и термопара для контроля температуры Быстрый цифровой контроллер температуры -PID До 3-ти газовых линий Скачать брощюру в PDF Скачать презентацию в PDF Максима