Установка плазменной очистки низкого давления модели Atto -производства - Diener electronic (Германия) . Применение: - очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы) мелкосерийное производство аналитика (SEM, TEM) медицина стерилизация исследования археология обработка текстиля полупроводники обработка пластиков Особенности Камера: цилиндрическая, 10,5 литра Вакуумный насос: -3 или 5 м 3 /час Датчик давления Pirani (опция) Ганератор 40 кГц, до 100 Вт или 13,56 МГц, до 50 Вт. Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC) Газовые линии - до 2 шт. (игольчатые глапана или MFC) Скачать брошюру Atto в PDF Тип установки плазма низкого давления Вакуумная камера цилиндрическая, около 10,5 литров: - Ø- 211 mm, глубина 300 мм - Материал камеры Боросиликатное стекло или кварцевое стекло Подвод газа до 2-х газовых линий с игольчатым клапанов или MFC Генератор плазмы 40 кГц, 200 Вт 13,56 МГц, 50 Вт Контроль Ручной - PCCE-Control (Microsoft -Windows CE) - PLC PC-Control (Microsoft -Windows XPe) - PC Производительность вакуумного насоса сухой насос, 3 до 5 м 3 / час Подключение 220 В, 50 Гц Видеопрезентация установки Atto Видеопрезентация фирмы Diener Единица измерения штук id позиции 5406003
Установка плазменной очистки низкого давления модели Atto -производства -Diener electronic (Германия).
Применение: -очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
мелкосерийное производство
аналитика (SEM, TEM)
медицина
стерилизация
исследования
археология
обработка текстиля
полупроводники
обработка пластиков
Особенности
Камера: цилиндрическая, 10,5 литра
Вакуумный насос: -3 или 5 м3/час
- Датчик давления Pirani (опция)
Ганератор 40 кГц, до 100 Вт или 13,56 МГц, до 50 Вт.
Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)
Газовые линии - до 2 шт. (игольчатые глапана или MFC)
Скачать брошюру Atto в PDF
Тип установки плазма низкого давления
Вакуумная камера цилиндрическая, около 10,5 литров: -
Ø- 211 mm, глубина 300 мм -
Материал камеры Боросиликатное стекло или кварцевое стекло
Подвод газа до 2-х газовых линий с игольчатым клапанов или MFC
Генератор плазмы 40 кГц, 200 Вт
13,56 МГц, 50 Вт
Контроль Ручной -
PCCE-Control (Microsoft -Windows CE) - PLC
PC-Control (Microsoft -Windows XPe) - PC
Производительность вакуумного насоса
сухой насос, 3 до 5 м
3/ час
Подключение 220 В, 50 Гц
Видеопрезентация установки Atto
Видеопрезентация фирмы Diener
Единица измерения штук
id позиции 5406003
Установка плазменной очистки низкого давления модели Atto -производства -Diener electronic (Германия).
Применение: -очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
мелкосерийное производство
аналитика (SEM, TEM)
медицина
стерилизация
исследования
археология
обработка текстиля
полупроводники
обработка пластиков
Особенности
Камера: цилиндрическая, 10,5 литра
Вакуумный насос: -3 или 5 м3/час
- Датчик давления Pirani (опция)
Ганератор 40 кГц, до 100 Вт или 13,56 МГц, до 50 Вт.
Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)
Газовые линии - до 2 шт. (игольчатые глапана или MFC)
Скачать брошюру Atto в PDF
Тип установки | плазма низкого давления |
Вакуумная камера | цилиндрическая, около 10,5 литров: - Ø- 211 mm, глубина 300 мм -
|
Материал камеры | Боросиликатное стекло или кварцевое стекло |
Подвод газа | до 2-х газовых линий с игольчатым клапанов или MFC |
Генератор плазмы | 40 кГц, 200 Вт 13,56 МГц, 50 Вт |
Контроль | Ручной - PCCE-Control (Microsoft -Windows CE) - PLC PC-Control (Microsoft -Windows XPe) - PC |
Производительность вакуумного насоса
| сухой насос, 3 до 5 м3/ час |
Подключение | 220 В, 50 Гц |
Видеопрезентация установки Atto
Видеопрезентация фирмы Diener
Единица измерения | штук |
id позиции | 5406003 |