Ручная зондовая измерительная станция MPI TS150-THZ для тестирования на больших частотах

Зондовая станция -MPI TS150-THZ -производства -MPI (Тайвань) -предназна­чена для точных измерений в миллиметровом и терагерцовом диапазонах. Конструкции станции обеспечивает механическую стабильность. Ее работа осуществляется без подъема держателя на частотах, выше 220 ГГц. Она имеет уникальные функции подъема держателя и платформы, аналогично ручным зондовым станциям TS-150, TS-200, разработанным компанией MPI.

Станции TS150 компании MPI просты в исполь­зовании. Предназна­чены для прецизионного анализа подложек и полупроводниковых пластин размером до 150 мм. Данные станции подходят для решения самых различных задач, включая анализ отказов, проверку параметров структур на этапе проектирования интегральных схем, микроэлектро­механических систем (MEMS), а так же определение характеристик и моделирование устройств высокой мощности.

Особенности

• Эргономичный дизайн позволяет быстро позиционировать образец при помощи ручного пантографа.
• Тестирование на образцах (пластинах) до 150 мм
• Антивибрационная платформа в комплекте
• Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria
• Возможность исполь­зования дополнительного навешиваемого на микроскоп обору­дования при помощи жесткого моста для микроскопа

• Платформа на пневматическом подшипнике
  Конструкция платформы держателя пластин на пневматическом подшипнике компании MPI обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой, обеспечивая, таким образом, быстрое перемещение по осям XY и загрузку пластины без ухудшения высоко­прецизионного позиционирования. Дополнительное высоко­точное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращением (Theta) с шагом 25 x 25 мм.

• Уникальный механизм подъема платформы
  Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1 мкм) ручной зондовой станции MPI TS150-THZ имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 мкм) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины, обеспечивая интуитивное управление, точное размещение контакта и безопасную установку. Эта функция особенно важна для высоко­частотных измерений в миллиметровом диапазоне и субтерагерцовом диапазоне частот (100 ГГц &ndash- 10 ТГц)

• Регулировка держателя пластин по оси Z
  Высоко­точная регулировка держателя пластин по оси Z зондовой станции TS150-THZ с шагом 10 мм обеспечивает возможность исполь­зования различных частотных расширителей, например, производства компаний Rohde &- Schwarz, VDI или OML.

• Конфигурации микропозиционеров
  Специализированная и жесткая конструкция платформы позволяет разместить два микропозиционера MP80 (восток-запад) с большой площадью крепления для адаптеров расширения частотного диапазона. Станция разработана для четырехпортовых высоко­частотных измерений или смещения при помощи двух мостов «-север»- и «-юг»-.

• MP80-DX
  Микропозиционеры MP80-DX компании MPI обладают высоко­прецизионным определением до 1 мкм значения &Delta-l и предназна­чены для точной калибровки TRL, которая представляет собой технологию высоко­частотной калибровки в миллиметровом и суб-терагерцовом диапазоне.

• Различные держатели полупроводниковых пластин
  Станция TS150-THZ оснащена различными держателями полупроводниковых пластин, которые удовлетворяют различные требованиях, предъявляемые как к бюджету, так и измерениям: &bull- Стандартные держатели для высоко­частотных измерений с разъемом BNC, &bull- Специализированные держатели для измерений в миллиметровом диапазоне, полностью встроенные в специальный керамический материал с высоко­температурной проводимостью (>-180W/Km), или - &bull- Держатели для высоко­частотных измерений с воздушным охлаждением ERS (для температурного диапазона от 20°-C до 200°-C или выше) с интегрированной позолоченной верхней поверхностью и небольшими отверстиями для подачи вакуума. Все держатели имеют два дополнительных держателя калибровочных подложек, встроенные в керамический материал для выполнения прецизионной высоко­частотной калибровки, особенно в диапазоне выше 40 ГГц.

• Микроскоп и оптика
  Компания MPI предлагает широкий ассортимент оптических устройств&ndash- от монокулярных микроскопов MPI SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм. Низкий коэффициент этих микроскопов соответствует требованиям, предъявляемым к высоко­частотным измерениям и измерениям в миллиметровом диапазоне, благодаря пространственным ограничениям, характерным для интеграции частотных удлинителей, которые требуют малые расстояния до тестируемого объекта.

   -

Скачать брощюру MPI TS150-THZ в PDF
RF зонды для станций MPI в PDF
Скачать схему станции MPI TS150-THZ в PDF

до 150 мм

175 x 235 мм

5 мкм

Зондовая станция -MPI TS150-THZ -производства -MPI (Тайвань) -предназна­чена для точных измерений в миллиметровом и терагерцовом диапазонах. Конструкции станции обеспечивает механическую стабильность. Ее работа осуществляется без подъема держателя на частотах, выше 220 ГГц. Она имеет уникальные функции подъема держателя и платформы, аналогично ручным зондовым станциям TS-150, TS-200, разработанным компанией MPI.

Станции TS150 компании MPI просты в исполь­зовании. Предназна­чены для прецизионного анализа подложек и полупроводниковых пластин размером до 150 мм. Данные станции подходят для решения самых различных задач, включая анализ отказов, проверку параметров структур на этапе проектирования интегральных схем, микроэлектро­механических систем (MEMS), а так же определение характеристик и моделирование устройств высокой мощности.

Особенности

• Эргономичный дизайн позволяет быстро позиционировать образец при помощи ручного пантографа.
• Тестирование на образцах (пластинах) до 150 мм
• Антивибрационная платформа в комплекте
• Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria
• Возможность исполь­зования дополнительного навешиваемого на микроскоп обору­дования при помощи жесткого моста для микроскопа

• Платформа на пневматическом подшипнике
  Конструкция платформы держателя пластин на пневматическом подшипнике компании MPI обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой, обеспечивая, таким образом, быстрое перемещение по осям XY и загрузку пластины без ухудшения высоко­прецизионного позиционирования. Дополнительное высоко­точное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращением (Theta) с шагом 25 x 25 мм.

• Уникальный механизм подъема платформы
  Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1 мкм) ручной зондовой станции MPI TS150-THZ имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 мкм) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины, обеспечивая интуитивное управление, точное размещение контакта и безопасную установку. Эта функция особенно важна для высоко­частотных измерений в миллиметровом диапазоне и субтерагерцовом диапазоне частот (100 ГГц &ndash- 10 ТГц)

• Регулировка держателя пластин по оси Z
  Высоко­точная регулировка держателя пластин по оси Z зондовой станции TS150-THZ с шагом 10 мм обеспечивает возможность исполь­зования различных частотных расширителей, например, производства компаний Rohde &- Schwarz, VDI или OML.

• Конфигурации микропозиционеров
  Специализированная и жесткая конструкция платформы позволяет разместить два микропозиционера MP80 (восток-запад) с большой площадью крепления для адаптеров расширения частотного диапазона. Станция разработана для четырехпортовых высоко­частотных измерений или смещения при помощи двух мостов «-север»- и «-юг»-.

• MP80-DX
  Микропозиционеры MP80-DX компании MPI обладают высоко­прецизионным определением до 1 мкм значения &Delta-l и предназна­чены для точной калибровки TRL, которая представляет собой технологию высоко­частотной калибровки в миллиметровом и суб-терагерцовом диапазоне.

• Различные держатели полупроводниковых пластин
  Станция TS150-THZ оснащена различными держателями полупроводниковых пластин, которые удовлетворяют различные требованиях, предъявляемые как к бюджету, так и измерениям: &bull- Стандартные держатели для высоко­частотных измерений с разъемом BNC, &bull- Специализированные держатели для измерений в миллиметровом диапазоне, полностью встроенные в специальный керамический материал с высоко­температурной проводимостью (>-180W/Km), или - &bull- Держатели для высоко­частотных измерений с воздушным охлаждением ERS (для температурного диапазона от 20°-C до 200°-C или выше) с интегрированной позолоченной верхней поверхностью и небольшими отверстиями для подачи вакуума. Все держатели имеют два дополнительных держателя калибровочных подложек, встроенные в керамический материал для выполнения прецизионной высоко­частотной калибровки, особенно в диапазоне выше 40 ГГц.

• Микроскоп и оптика
  Компания MPI предлагает широкий ассортимент оптических устройств&ndash- от монокулярных микроскопов MPI SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм. Низкий коэффициент этих микроскопов соответствует требованиям, предъявляемым к высоко­частотным измерениям и измерениям в миллиметровом диапазоне, благодаря пространственным ограничениям, характерным для интеграции частотных удлинителей, которые требуют малые расстояния до тестируемого объекта.

   -

Скачать брощюру MPI TS150-THZ в PDF
RF зонды для станций MPI в PDF
Скачать схему станции MPI TS150-THZ в PDF